Elektronischer Halbleitersensor zur Messung von mindestens zwei der folgenden Größen -|atmosphärischer Druck, Temperatur (auch zur Temperaturkompensation), Luftfeuchtigkeit oder flüchtige organische Verbindungen -|in einem für die vollautomatisierte Leiterplattenbestückung oder die Bare-Die-Technologie geeigneten Gehäuse mit -|einer oder mehreren anwendungsspezifischen monolithisch integrierten Schaltungen (ASIC) -|einem oder mehreren mikromechanischen Sensorelementen (MEMS) mit mechanischen Elementen in dreidimensionalen Strukturen auf dem Halbleitermaterial in Halbleitertechnik gefertigt von der zum Einbau in Waren der Kapitel|84|bis|90|und 95|verwendeten Art

Warentarifnummer 9025804050